PVD 머티리얼
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세라믹 보트
- Evaporation용 Ceramic Boat ・Material：BN-TiB2 ・High thermal shock resistance.
- High Optical Density
- High web-speed.
- High Evaporation rate.
- Excellent weting behavior.
BN-TiB Ceramic Boat
【Ceramic Boat Spec.】
| 저항치 | 300 ~ 4000µΩ-cm |
|---|---|
| 밀도 | 2.8 ~ 3.2g/㎤ |
| 내열온도 | <=1895℃ |
| 열전도율 | >100/40W/mK |
| 열팽창율 (20~1450℃) |
(4-6)10-6k |
| 휨강도 | >150mPA |
| 포장상태 | 진공포장 |
【 저항치(μΩ･cm) 】
| ype 1 | 800-1200 |
|---|---|
| Type 2 | 1200-1600 |
| Type 3 | 1600 – 2000 |
| 타입 4 | 2000 – 2400 |
| 타입 5 | 2400 – 2800 |
| 타입 6 | 2800 – 3200 |
| Type 7 | 3200 – 3600 |
| 유형 8 | 3600-4000 |